99Generatore di ossigeno PSA ad alta purezza per la produzione di semiconduttori

Generatore di ossigeno PSA(Generatore di ossigeno ad assorbimento a oscillazione a pressione) è un'attrezzatura pulita chiave nell'industria della produzione di semiconduttori.si ottiene una purificazione profonda mediante setacci molecolari a doppio strato (setacci molecolari ordinari + setacci molecolari ad alta purezza) per produrre ossigeno ad alta purezza con una concentrazione superiore a 990,5%.

Esso presenta vantaggi fondamentali quali purezza stabile, elevata pulizia, funzionamento affidabile e zero emissioni inquinanti,che può soddisfare i severi requisiti di purezza e pulizia dell'ossigeno in processi quali l'ossidazione e la deposizione di film sottili durante la produzione di semiconduttori. Come configurazione di livello superiore perPsa purezza dell'impianto di ossigeno, le impurità (azoto, umidità, anidride carbonica, ecc.) nell'ossigeno prodotto da questa apparecchiatura sono tutte controllate al di sotto del livello di ppm,evitando una diminuzione della resa di chip causata da una insufficiente purezza dell'ossigenoE' un'apparecchiatura essenziale di approvvigionamento di ossigeno per la produzione di semiconduttori.

La produzione di semiconduttori rappresenta l'apice della produzione di precisione, con processi di chip che hanno raggiunto la scala nanometrica (5nm, 3nm).degrado delle prestazioniL'ossigeno è utilizzato principalmente in processi di base come l'ossidazione (formando strati isolanti di SiO2) e la deposizione chimica di vapore (CVD) nella produzione di semiconduttori.La purezza dell'ossigeno influenza direttamente l'uniformità dello spessore dello strato isolante, adesione al film e prestazioni elettriche del chip.

L'ossigeno ordinario di grado industriale (93% di purezza) contiene impurità come azoto e umidità che possono formare difetti sulla superficie del chip, portando a una diminuzione del 10-20% della resa; al contrario, 99.5% di ossigeno di alta purezza può controllare il contenuto di impurità al di sotto del livello di ppm, evitando efficacemente la formazione di difetti e garantendo che il rendimento dei chip rimanga stabile al di sopra del 90%.Generatore di ossigeno PSAL'acido nitrico è un prodotto molto efficace per eliminare profondamente dalle acque atmosferiche le impurità quali azoto, umidità e anidride carbonica.Psa purezza dell'impianto di ossigenoLa precisione di controllo supera di gran lunga quella delle apparecchiature tradizionali di produzione di ossigeno, soddisfacendo pienamente i requisiti di processo della produzione di semiconduttori.

Inoltre, la produzione di semiconduttori ha requisiti estremamente elevati per la pulizia dell'ossigeno.5 μm per piede cubo di aria). ilGeneratore di ossigeno PSAè dotato di un sistema di filtrazione del gas ad alta efficienza in grado di filtrare piccole particelle nell'ossigeno, evitando la contaminazione da particelle sulla superficie del chip e garantendo ulteriormente la qualità del chip.

Quando si acquistaGeneratore di ossigeno PSA, le imprese di semiconduttori devono rispettare quattro principi fondamentali: "purità qualificata, compatibilità in camera bianca, stabilità e affidabilità e qualifiche complete dei fornitori".

• In termini di purezza, è indispensabile selezionare apparecchiature con purezza dell'ossigeno ≥ 99,5% e contenuto di impurità che soddisfino i requisiti del processo dei semiconduttori.e richiedono ai fornitori di fornire rapporti di prova di terze parti (come SGS, ITS)
• Per quanto riguarda la compatibilità in camera bianca, è necessario confermare che la pulizia dei gas di uscita dell'apparecchiatura è ≥ Classe 100 e che l'involucro dell'apparecchiatura soddisfa i requisiti di installazione in camera bianca.
• Per quanto riguarda la stabilità e l'affidabilità, la priorità dovrebbe essere data ai prodotti con una durata di funzionamento continuo ≥ 8.000 ore/anno e una garanzia per i componenti principali ≥ 3 anni.
• Le qualifiche dei fornitori sono fondamentali.impianto di ossigeno a base di PSAle qualifiche di produzione, la certificazione del sistema di gestione della qualità ISO9001 e le pertinenti certificazioni del settore dei semiconduttori (come la certificazione SEMI),e richiedere loro di fornire casi di successo nel settore dei semiconduttori

Il servizio post-vendita deve soddisfare gli elevati requisiti dell'industria dei semiconduttori.e fornitura rapida di pezzi di ricambio per garantire il funzionamento stabile a lungo termine dell'attrezzatura.

Con il suo vantaggio di alta purezza del 99,5%, ilGeneratore di ossigeno PSAIl suo controllo di purezza preciso, la sua potenza di gas pulito, la sua capacità di riciclare,e prestazioni operative stabili possono fornire un supporto affidabile dell'approvvigionamento di ossigeno per i processi dei semiconduttori, il che lo rende un'attrezzatura chiave per le imprese produttrici di chip per migliorare il rendimento e ridurre i costi.